[古本] デバイスプロセス／河東田隆 著（培風館 1993）
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2 バルク結晶の成長
3 エピタキシャル成長技術
4 ウエハの加工と表面処理
5 絶縁膜の形成
6 不純物拡散とイオン注入
7 微細パターンの形成
8 電極と配線の形成および実装
9 クリーンルームと関連技術
10 電子材料の種類と実用的に使用されるための条件
11 アモルファスシリコン・デバイスの製作プロセス
12 材料・デバイスプロセスにおける評価
13 デバイスの微細化にともなう問題点と新技術
14 量子効果デバイス作製のための新技術