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【マイクロメカニカルシステム実用化技術総覧】一般機械小型化

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カテゴリ	本、雑誌自然科学と技術工学機械工学
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開始日時	2024.05.01（水）22:50
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オークションID	r1053884554

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マイクロメカニカルシステム実用化技術総覧

機械・装置のマイクロ化、一般機械の小型化の鍵となる

樋口　俊郎　生田　幸士【編】　　フジ・テクノシステム（1992/03/19 出版）

714ページ / 26cm / B5判　　価格39800円

本書は、所謂シリコンのマイクロマシニングなどによる革新的な技術にその内容。

大項目目次

第１編　基礎論（要素技術；材料）
第２編　微細加工技術（機械加工；マイクロ電気加工；機械部品加工のためのエッチング；真空蒸着；イオンプレーティング；ＣＶＤ、気相成長法；スパッタリング法；エッチング；シンクロトロン放射光等）
第３編　マイクロメカニズムの要素（コンベンショナルな手法によるマイクロ機械要素；新しい手法によるマイクロ機械要素；微小量の測定および評価）
第４編　マイクロメカニズム事例（センサ；マイクロメカニズム；バイオ・医学用への応用）

函付き　本文中身は「良い」状態で、書き込み折れ焼け等なく良好です。函はシッカリしてますが、　スレ　子キズあり。　兵庫県よりクッション防水ビニールと表紙等をアルコール殺菌消毒で敏速に配送します。よろしくお願いします。

）　

お振込先は、①三菱東京UFJ銀行、②三井住友銀行、③池田銀行　　

　　　　　　④ゆうちょ銀行（郵便局）

　　　　　　⑤ヤフーかんたん決済

とさせていただいております。　よろしくお願いします

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