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bsd********さん
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TABLE OF CONTENTS
Electronic Materials and Processing
MEMS Materials and their Preparation
Standard Microelectronic Technologies
Silicon Micromachining:Bulk
Silicon Micromachining: Surface
Microstereolithography for MEMS
Microsensors
Introduction to SAW Devices
Surface Acoustic Waves in Solids
IDT Microsensor Parameter Measurement
IDT Microsensor Fabrication
IDT Microsensors
MEMS-IDT Microsensors
Smart Sensors and MEMS
Appendices
Index